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接近开关的非电阻式气敏元件介绍
发布时间:2017-01-13点击量: 625

关于接近开关非电阻式半导体所系元件有MOS二极管式、结型二极管式和场效应管式等。其电流或电压随气体含量而变化,主要检测氢和硅烷气等可燃性气体。其中,MOSFET接近开关气体传感器工作原理是挥发性有机化合物VOC与催化金属接触发生反应,反应产物扩散到MOSFET的栅极,改变了元件的性能。可通过分析元件性能的变化识别VOC。通过改变催化金属的种类和膜厚,可优化灵敏度和选择性,并可改变工作温度。MOSFET气体接近开关传感器灵敏度高,但制作工艺比较复杂,成本高。